| 加工定制：是 | 种类：元素半导体 | 特性：高纯 |
| 用途：真空镀膜 | 纯度：99.999*** | 规格：各类 |
| 粒径：50-100 |
电子级三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、质量指标:
分析项目 | 技术指标（ppb） | 分析项目 | 技术指标（ppb） | ||
6N | 7N | 6N | 7N | ||
As,max | 30 | 6 | Mg,max | 20 | 5 |
Ba,max | 20 | 1 | Mn,max | 30 | 1 |
Ca,max | 30 | 5 | Ni,max | 20 | 1 |
Co,max | 20 | 1 | Pb,max | 10 | 3 |
Cu,max | 20 | 2 | Sr,max | 5 | 1 |
Cr,max | 20 | 1 | Ti,max | 5 | 2 |
Fe,max | 40 | 5 | Zn,max | 5 | 1 |
Al,max | 40 | 5 | K,max | 30 | 3 |
Ag,max | 1 | 1 | Li,max | 10 | 6 |
Au,max | 1 | 1 | Na,max | 10 | 5 |
Bi,max | 10 | 1 | Nb,max | 2 | 1 |
Ga,max | 1 | 1 | Sn,max | 5 | 1 |
Hg,max | 10 | 5 | 含量,min | 99.9% | 99.9% |
色度,max | 5 | 5 | 颗粒物,Size,#/ml | ≥0.3um, 50max | ≥0.3um, 50max |
六、包装
容 器：石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。
外包装：容器外套厚质PVC塑料袋；PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。
规 格：400ml、1000ml、1500ml、20L，也可以根据用户的要求进行包装。
电子级三溴化硼
一、分子式：BBr3
二、分子量：250.5
三、理化性质:
三溴化硼具有强烈刺激性臭味，常温下为无色或稍带黄色的发烟液体。相对密度2.64，熔点-46℃，沸点91.7℃。溶于四氯化碳，吸水性强，易被水和醇等分解。见光、遇热易分解，受热可能爆炸，接触空气会冒出白烟。为强路易氏酸，能与碱反应形成络合物和加成物。有强刺激作用，腐蚀性较强，蒸气有毒。
四、用途：
电子级三溴化硼用于半导体集成电路、太阳能电池、半导体分离器件等行业中作为P型掺杂源，通过热扩散对晶体硅进行P型掺杂。其次，三溴化硼还是制造高纯硼及其他有机硼化物的原料。
五、质量指标:
分析项目 | 技术指标（ppb） | 分析项目 | 技术指标（ppb） | ||
6N | 7N | 6N | 7N | ||
Al,max | 15 | 5 | Li, max | 2 | 1 |
As,max | 4 | 1 | Mg,max | 20 | 8 |
Ca,max | 10 | 5 | Mn,max | 2 | 1 |
Ba,max | 2 | 1 | Hg,max | 12 | 1 |
Bi,max | 2 | 1 | Ni,max | 2 | 1 |
Cr,max | 2 | 1 | K,max | 10 | 3 |
Co,max | 2 | 1 | Ag,max | 2 | 1 |
Cu,max | 5 | 2 | Na,max | 10 | 5 |
Ga,max | 2 | 1 | Sr,max | 2 | 1 |
Au,max | 2 | 1 | Sn,max | 2 | 1 |
Fe,max | 20 | 10 | Ti,max | 2 | 1 |
Pb,max | 2 | 1 | Zn,max | 5 | 3 |
Cd,max | 2 | 1 | 色度,max | 60 | 60 |
六、包装:
容 器：石英源瓶。
外包装：容器外套厚质PVC塑料袋和不透光塑料膜；PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫和蛭石。
规 格：1kg 、2.5kg 、3kg ，也可根据客户的要求进行包装。
